xem trực tiếp bóng đáThông trực tiếp bóng đá việt nam
Hệ thống băng tải wafer
-
Robot vận tải hàng không
Một robot sạch có niêm phong chất lỏng từ tính, điều khiển áp suất vi sai bên trong robot, điều khiển tăng tốc/giảm tốc hình chữ S, cánh tay kép cung cấp robot thông lượng cao và cơ chế đơn giản mang lại robot đáng xem trực tiếp bóng đá cậy cao. Hỗ trợ dòng sản xuất bán dẫn của bạn.
-
Robot vận chuyển chân không
Bằng cách áp dụng công nghệ được trồng bằng robot khí quyển, tốc độ cao và độ xem trực tiếp bóng đá cậy cao đã đạt được.
-
Alainer
Một dòng xem trực tiếp bóng đá tương ứng với các kích thước và vật liệu wafer khác nhau. Được trang bị cảm biến độc đáo của riêng chúng tôi, chúng tôi đã đạt được sự liên kết wafer, điều mà trước đây là không thể.
-
loadport
Cơ chế mở và đóng duy nhất và điều khiển tốc độ chính xác bằng cách sử dụng động cơ đạt được mức độ hiệu suất sạch cao. Chúng tôi cũng có các xem trực tiếp bóng đá có thể được sử dụng cho các thanh lọc và dự trữ N2.
-
Nền tảng chân không
PLVS/ Nền tảng chân không là một hệ thống băng tải sạch có khả năng tái tạo vị trí cao và khả năng phân vùng chân không đáng xem trực tiếp bóng đá cậy bằng cách cài đặt các đơn vị khác nhau của phần truyền động DDM (động cơ truyền động trực tiếp), là một tính năng phổ biến của robot chân không và máy hút bụi.
-
efem/người sắp xếp
Có sẵn để vận chuyển tốc độ cao bằng cách cài đặt một robot sạch mới và trục lái tuyến tính tốc độ cao. Nó cũng hỗ trợ các kết nối với OHT và AGV. Hơn nữa, các đơn vị khác nhau như máy ảnh đọc ID Wafer và các thiết bị đảo ngược có thể được cài đặt để đáp ứng nhiều nhu cầu của khách hàng.
-
Stocker
Bộ phân loại wafer có khu vực lưu trữ wafer (POD có chức năng thanh lọc) để lưu trữ thử nghiệm và xử lý các tấm wafer ở độ ẩm thấp và mức oxy thấp, giảm thiểu những thay đổi trong màng xử lý wafer. Bằng cách cài đặt đơn vị thanh lọc nitơ độc đáo của riêng chúng tôi, sự sạch sẽ với tốc độ dòng chảy thấp góp phần thu nhỏ quá trình và ngăn ngừa giảm năng suất.