Sản phẩmThông trực tiếp bóng
Hệ thống băng tải wafer:loadport
RV201-F07-N

Tóm tắt
Cổng tải loại thanh lọc dưới cùng của N2.
Nó sử dụng cơ chế vòi phun duy nhất, cho phép điều khiển khí bằng bộ điều khiển dòng chảy (MFC).
Nó kế thừa cơ chế mở và đóng cửa của mô hình tiêu chuẩn, và điều khiển chính xác việc mở và đóng cửa Foup, đạt được mức độ hiệu suất sạch cao.
tính năng
- Tương thích tiêu chuẩn với Foup và Auto Door FOSB
- Thể hiện hiệu suất sạch cao với cơ chế mở và đóng cửa duy nhất và điều khiển hoạt động chính xác
- Bộ lọc mất áp suất thấp tích hợp
- Được trang bị vòi phun duy nhất
trực tiếp bóng đá hôm nay số kỹ thuật sản phẩm chính
- trực tiếp bóng đá hôm nay số kỹ thuật đặc biệt, v.v.
- Tương thích/Turn loại
- nguồn cung cấp
- DC24V ± 10% 9a
- Air nén
- 0,5MPa ~ 0,6MPa 10L/phút trở lên
- Không khí chân không
- -60kpa ~ -80kpa 10l/phút trở lên
- N2
- tương thích
Bản vẽ phác thảo sản phẩm (trực tiếp bóng đá hôm nay số kỹ thuật tiêu chuẩn)
Tùy chọn
- Pin khóa pin Infopad
- RFID/mã vạch
- Tùy chỉnh đèn báo
- E84 Tương thích
- Tương thích I/O bên ngoài
- trực tiếp bóng đá hôm nay số kỹ thuật giao tiếp rs232c
- Cảm biến nhiệt độ và độ ẩm
Để hỏi về trực tiếp bóng đá hôm nay hoặc sản phẩm, vui lòng liên hệ với chúng tôi
ở đây