Sản phẩmThông trực tiếp bóng
Hệ thống băng tải wafer:Robot vận chuyển chân không
RR493L230

Tóm tắt
RR493/Robot chân không cánh tay vô hướng (ARM đơn) sử dụng DDM (Động cơ truyền động trực tiếp chân không) cho bộ phận ổ đĩa, đạt được độ tái tạo vị trí cao và hiệu suất phân vùng chân không đáng tin cậy. Ngoài ra, cơ chế ARM liên kết được điều khiển bởi một vành đai thép cho phép áp dụng một bộ lọc cuối cùng mặc dù diện tích xoay nhỏ của nó.
- Vùng quay nhỏ (dấu chân nhỏ)
- tương thích với các ngón tay dài, tầm xa
- Hỗ trợ kích thước mở cổng hẹp (15mm)
- độ chính xác cao
- tương thích chân không siêu cao
- trực tiếp bóng đá euro lượng cao
- Tùy chọn AWC tương thích (hiệu chỉnh vị trí wafer)
trực tiếp bóng đá euro số kỹ thuật sản phẩm chính
- Bài viết sẽ được vận chuyển
- ~ 300mm wafer
- Teleport Mass
- 3.0kg/10nm *Phần gắn cổ tay (bao gồm EE)
- Khoảng cách vận chuyển trung tâm làm việc
- 835mm
- Z-trục đột quỵ
- 70mm/140mm
- Phạm vi chuyển đổi
- Vòng quay vô hạn
- Đường kính xoay
- 590mm
- Độ chính xác vận chuyển (x, y)
- ± 0,1mm
- Mass
- 70kg
- Kháng chân không
- 10e-6 PA
- anh ta rò rỉ tỷ lệ
- 5x10e-9 pa.m3/sec he (chân không cơ sở 5x10e-4 pa)
- Nhiệt độ hoạt động
- dưới 80 ℃
- Vật liệu được sử dụng trong chân không
- 6182_6244
- Đặc tả động cơ
- Động cơ truyền động trực tiếp cho chân không (trục z: động cơ servo)
- trực tiếp bóng đá euro số kỹ thuật của bộ mã hóa
- abs
- Tiện ích
- DC48V (ổ đĩa động cơ), DC24V (giao tiếp)
- Đặc tả giao tiếp
- TCP/IP
- Tùy chọn
- Mặt dây chuyền giảng dạy, Đơn vị cung cấp điện (đầu vào AC200V)
Bản vẽ phác thảo sản phẩm (trực tiếp bóng đá euro số kỹ thuật tiêu chuẩn)
Đối với các yêu cầu trực tiếp bóng đá euro và yêu cầu sản phẩm
ở đây