trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh

Tóm tắt

Một robot sạch mới và trục lái tuyến tính tốc độ cao đã được cài đặt để nhận ra một hệ thống vận chuyển tốc độ cao. Nó có thể được kết nối với OHT và AGV.

• Được trang bị hai căn chỉnh, trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh lượng cao hơn là có thể
• Tương thích với loại giữ chân không và loại kẹp cạnh (tùy chọn)
• Có thể được sử dụng cả 200mm/300mm (tùy chọn)

trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh số kỹ thuật sản phẩm chính

model

RSC131

Số cổng

2 cổng

mục tiêu sẽ được giao

Đường kính wafer 300mm: φ300 ± 0,2mm độ dày: 775μm

Carrier

300mm foup 25 bước (semi e47.1) 300mm FOSB 25 bước (bán M31)

Điện áp cung cấp

AC200V ± 10% 50/60Hz ± 5%

Tiêu thụ hiện tại

Bao gồm 4KVA (20A/200VAC) FFU

VACUUM (Áp lực ban đầu)

-80kpa đến -90kpa

VACUUM (tốc độ dòng chảy)

40L/phút

Áp lực dương (áp lực ban đầu)

0,6MPa đến 0,7MPa

Áp lực tích cực (Flow)

20L/phút

Đầu ra liên hệ EMO

2 Hệ thống (Liên hệ khô)

khóa liên động

8 đầu vào/8 đầu ra (I/O bị cô lập)

model

RSC141

Số cổng

3 cổng

mục tiêu sẽ được giao

Đường kính wafer 300mm: φ300 ± 0,2mm độ dày: 775μm

Carrier

300mm foup 25 giai đoạn (semi e47.1) 300mm FOSB 25 giai đoạn (bán M31)

Điện áp cung cấp

AC200V ± 10% 50/60Hz ± 5%

Tiêu thụ hiện tại

Bao gồm 4KVA (20A/200VAC) FFU

VACUUM (Áp lực ban đầu)

-80kpa đến -90kpa

VACUUM (tốc độ dòng chảy)

50L/phút

​​Áp lực dương (áp lực ban đầu)

0,6MPa đến 0,7MPa

Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)

30L/phút

Đầu ra liên hệ EMO

2 Hệ thống (Liên hệ khô)

khóa liên động

8 đầu vào/8 đầu ra (I/O bị cô lập)

Bản vẽ phác thảo sản phẩm (trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh số kỹ thuật tiêu chuẩn)

• 

Tùy chọn

• Tương thích với hệ thống giảng dạy tự động
• Cài đặt ionizer
• Bộ lọc hóa học
• Bộ đệm bổ sung cho wafer bên trong
• mã vạch điện/rf-id
• E84
• Các cổng tải tương thích N2/XCDA có thể được cài đặt
• Mặt dây chuyền giảng dạy

Để hỏi về trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh hoặc sản phẩm, vui lòng liên hệ với chúng tôi
ở đây