xem trực tiếp bóng đá xoilac

Tính năng xem trực tiếp bóng đá xoilac

RSR160 Kẹp cạnh báo cáo trong phạm vi tối thiểu để chuyển báo cáo mà không cần thiết lập các hạt và có sẵn cho mặt nạ EUV thế hệ tiếp theo.

• 4707_4769
• Có sẵn để xử lý các bản ghi được phủ chậu (bằng cách thay đổi tay robot).
• Hạt giải quyết được tránh bằng cách sử dụng điều khiển luồng không khí dựa trên phân tích luồng không khí.

Thông số kỹ thuật chính của xem trực tiếp bóng đá xoilac

Số cổng

3

đối tượng xử lý

Photomask, mặt nạ EUV 6 inches x 6 inches (152 ± 0,4mm, độ dày: 6,35mm ± 0,1mm)

Carrier

RSP-200, RSP-150, EUV Pod

Điện áp

200V AC ± 10%, 50/60Hz ± 5%

Tiêu thụ hiện tại

4KVA (20A/200 V AC) Bao gồm FFU

VACUUM (áp suất nguồn)

-

VACUUM (tốc độ dòng chảy)

-

Áp suất dương (áp suất nguồn)

0,6MPa đến 0,7MPa

Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)

10L/phút

N2 khí (áp suất nguồn)

-

N2 khí (tốc độ dòng chảy)

-

khóa liên động

-

Kích thước xem trực tiếp bóng đá xoilac (Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn)

• 

Tùy chọn

• Turntable Turntable
• FLIPPER
• Căn chỉnh không tiếp xúc ốp
• Đầu đọc mã QR của Net

Đối với các tài liệu yêu cầu và yêu cầu về các xem trực tiếp bóng đá xoilac của chúng tôi, nhấp vào
trực tiếp bóng