bóng đá trực tiếp

tính năng bóng đá trực tiếp

Robot chân không RR492/FROG LEP ARM nhận ra độ lặp lại định vị cao và hiệu suất phân vùng chân không đáng tin cậy bằng cách áp dụng DDM (động cơ truyền động trực tiếp chân không) cho phần ổ đĩa. Cơ chế ARM liên kết đầy đủ nhận ra độ lặp lại định vị chính xác cao.

• Độ chính xác cao.
• Có sẵn cho chân không cao.
• bóng đá trực tiếp lượng cao.
• Có sẵn cho tùy chọn AWC (bù vị trí wafer).

Thông số kỹ thuật chính của bóng đá trực tiếp

Kích thước chất nền

Lên đến 300mm wafer, mặt nạ 6 inch, v.v.

Khoảng cách chuyển của trung tâm chất nền

1039mm (cho wafer 300mm)

Z-trục đột quỵ

70mm/140mm

Phạm vi xoay

Xoay không giới hạn

Đường kính xoay

980mm

Độ chính xác chuyển (x, y)

± 0,1mm

Mass

70kg

Mức độ chống chân không

10e-6 PA

Tỷ lệ rò rỉ

5x10e-9 pa.m3/sec he (chân không cơ sở 5x10e-4 pa)

Nhiệt độ hoạt động

80 ℃ hoặc ít hơn

Vật liệu được sử dụng trong chân không

5692_5788

bóng đá trực tiếp số kỹ thuật động cơ

Động cơ truyền động trực tiếp chân không (trục z: động cơ servo)

bóng đá trực tiếp số kỹ thuật của bộ mã hóa

abs

Tiện ích

48V DC (ổ đĩa động cơ), 24V DC (giao tiếp)

bóng đá trực tiếp số kỹ thuật giao tiếp

TCP/IP

Tùy chọn

Mặt dây chuyền giảng dạy, Đơn vị điện (đầu vào 200V AC)

Kích thước bóng đá trực tiếp (Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn)

• 

Đối với các tài liệu yêu cầu và yêu cầu về các bóng đá trực tiếp của chúng tôi, nhấp vào
trực tiếp bóng