xem bóng đá trực tiếptrực tiếp bóng đá hôm nay sản phẩm
Hệ thống xử lý wafer:robot wafer chân không
RR481L230

Tính năng xem bóng đá trực tiếp
Robot chân không RR481/BOOMERANG ARM (hai cánh tay) nhận ra độ lặp lại định vị cao và hiệu suất phân vùng chân không đáng tin cậy bằng cách áp dụng DDM (động cơ truyền động trực tiếp chân không) cho phần ổ đĩa. Cơ chế ARM lái bằng dây đai bằng thép nhận ra việc áp dụng các tác động cuối cùng ngay cả với diện tích quay nhỏ.
- Vùng xoay nhỏ.
- Hiệu ứng cuối dài có sẵn cho tầm xa.
- Có sẵn cho kích thước mở cổng hẹp (15mm).
- Độ chính xác cao.
- Có sẵn cho chân không siêu cao.
- xem bóng đá trực tiếp lượng cao.
- Có sẵn cho tùy chọn AWC (bù vị trí wafer).
Thông số kỹ thuật chính của xem bóng đá trực tiếp
- Kích thước cơ chất
- Lên đến 300mm wafer
- Công suất
- 3.0kg/10nm, Lưu ý: Đối với phần đính kèm cổ tay (bao gồm cả bộ kết thúc)
- Khoảng cách chuyển của trung tâm chất nền
- 835mm (cho wafer 300mm)
- Z-trục đột quỵ
- 70mm/140mm
- Phạm vi xoay
- Xoay không giới hạn
- Đường kính xoay
- 590mm
- Độ chính xác chuyển (x, y)
- ± 0,1mm
- Mass
- 100kg
- cấp độ chống chân không
- 10E-6 PA
- Tỷ lệ rò rỉ
- 5x10e-9 pa.m3/sec he (chân không cơ sở 5x10e-4 pa)
- Nhiệt độ hoạt động
- 80 ℃ hoặc ít hơn
- Vật liệu được sử dụng trong chân không
- Alminum, Thép không gỉ, AM350 (Bellows), Magnet với NI Mình., Vòng chữ O dựa trên fluorine
- xem bóng đá trực tiếp số kỹ thuật của động cơ
- Động cơ truyền động trực tiếp chân không (trục z: động cơ servo)
- xem bóng đá trực tiếp số kỹ thuật của bộ mã hóa
- abs
- Tiện ích
- 48V DC (ổ đĩa động cơ), 24V DC (giao tiếp)
- xem bóng đá trực tiếp số kỹ thuật giao tiếp
- TCP/IP
- Tùy chọn
- Mặt dây chuyền giảng dạy, Đơn vị điện (đầu vào 200V AC)
Kích thước xem bóng đá trực tiếp (Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn)
Đối với các tài liệu yêu cầu và yêu cầu về các xem bóng đá trực tiếp của chúng tôi, nhấp vào
trực tiếp bóng