xem trực tiếp bóng đátrực tiếp bóng đá hôm nay sản phẩm
Hệ thống xử lý wafer:Stocker
N2-BWS
Tính năng xem trực tiếp bóng đá
Khu vực để lưu trữ sóng (pod có chức năng thanh lọc) được cung cấp cho bộ sắp xếp sóng. Sóng thử và sóng xử lý được chứa bên trong vỏ được giữ ở độ ẩm thấp và oxy thấp để giảm thiểu sự thay đổi màng xử lý của sóng.
- Khả năng lưu trữ lên tới 800, 1600 hoặc 3200 sóng.
- tốc độ dòng nitơ thấp, oxy thấp, độ ẩm thấp và độ sạch cao.
- Giảng dạy tự động là có thể.
- Cơ chế màn trập mở/đóng chỉ mặt trước của Pod Waver tối thiểu hóa việc mở để truy cập.
Thông số kỹ thuật chính của xem trực tiếp bóng đá
- loại
- BWS800 RI76172
- đối tượng xử lý
- 300mm wafer: dia. 300 ± 0,2mm, độ dày: 775μm
- Carrier
- Foup 300mm (semi e47.1)
- Điện áp
- ba pha 208V AC ± 10%, 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- 10kva (30A/200V AC) bao gồm FFU
- Máy hút bụi (áp suất nguồn)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 60L/phút
- áp suất dương (áp suất nguồn)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 30L/phút
- N2 (áp suất nguồn)
- 0,4MPa đến 0,5MPa
- N2 (tốc độ dòng chảy)
- 300L/phút
- loại
- BWS1600 RI76192
- đối tượng xử lý
- 300mm wafer: dia. 300 ± 0,2mm, độ dày: 775μm
- Carrier
- Foup 300mm (Semi E47.1)
- Điện áp
- ba pha 208V AC ± 10%, 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- 10kva (30A/200V AC) bao gồm FFU
- VACUUM (áp suất nguồn)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 60L/phút
- Áp suất dương (áp suất nguồn)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 30L/phút
- N2 (áp suất nguồn)
- 0,4MPa đến 0,5MPa
- N2 (tốc độ dòng chảy)
- 600L/phút
- loại
- BWS3200 RSC2E2
- đối tượng xử lý
- 300mm cược: dia. 300 ± 0,2mm, độ dày: 775μm
- Carrier
- Foup 300mm (Semi E47.1)
- Điện áp
- ba pha 208V AC ± 10%, 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- 25KVA (75A/200V AC) bao gồm FFU
- VACUUM (áp suất nguồn)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 60L/phút
- Áp suất dương (áp suất nguồn)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 40L/phút
- N2 (áp suất nguồn)
- 0,4MPa đến 0,5MPa
- N2 (tốc độ dòng chảy)
- 1200L/phút
Tùy chọn
- Bộ lọc hóa học
- Trình đọc mã vạch/RF-ID
Đối với các tài liệu yêu cầu và yêu cầu về các xem trực tiếp bóng đá của chúng tôi, nhấp vào
trực tiếp bóng