trực tiếp bóng đá hôm nay sản phẩmThông tin trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh
Hệ thống xử lý wafer:efem/người sắp xếp
Ace Sorter
Tính năng trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh
Sắp xếp trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh lượng cao được thực hiện bằng cách sử dụng robot sạch mà servo mới được gắn, điều chỉnh và trục theo dõi tuyến tính. Khung có cấu hình để cổng tải có thể được gắn ở phía trước, phía sau, bên trái và bên phải của khung, và cổng tải và các đơn vị khác nhau có thể được thêm Kater. Kết nối trực tiếp với OHT và Stocker có sẵn.
- Căn chỉnh tốc độ cao bằng hai sắp xếp
- Phương pháp kẹp cạnh ngăn chặn việc chuyển các hạt lên bề mặt phía sau của dao.
- IDS trên cả hai bề mặt của dao động có thể được đọc.
- Tương ứng với hệ thống mà OHT và Stocker được gắn kết.
- Chuyển Wavers có thể được hướng dẫn trên bảng cảm ứng để nhận ra hoạt động dễ hiểu.
Thông số kỹ thuật chính của trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh
- loại
- RSC132
- Số cổng
- 2Ports
- Chuyển đối tượng
- 300mm wafer: dia. 300 ± 0,2mm, độ dày: 775μm
- Carrier
- Foup 300mm (Semi E47.1)
- Điện áp
- một pha 200V AC ± 10%, 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- 4KVA (20A/200V AC) Bao gồm FFU
- VACUUM (áp suất nguồn)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 30L/phút
- Áp suất dương (áp suất nguồn)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 20L/phút
- loại
- RSC142
- Số cổng
- 3Ports
- Chuyển đối tượng
- 300mm cược: dia. 300 ± 0,2mm, độ dày: 775μm
- Carrier
- Foup 300mm (Semi E47.1)
- Điện áp
- một pha 200V AC ± 10%, 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- 4KVA (20A/200V AC) Bao gồm FFU
- VACUUM (áp suất nguồn)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 40L/phút
- Áp suất dương (áp suất nguồn)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 30L/phút
- loại
- RSC152
- Số cổng
- 4ports
- Chuyển đối tượng
- 300mm wafer: dia. 300 ± 0,2mm, độ dày: 775μm
- Carrier
- Foup 300mm (Semi E47.1)
- Điện áp
- một pha 200V AC ± 10%, 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- 4KVA (20A/200V AC) bao gồm FFU
- VACUUM (áp suất nguồn)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 50L/phút
- Áp suất dương (áp suất nguồn)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 40L/phút
Kích thước trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh (RSC141)
Tùy chọn
- Tương ứng với các hoạt động chuyển giao khác nhau như đảo ngược một waver và mở casete
- Sóng thủy tinh và sóng gỗ
- Bộ lọc hóa học khác nhau
- Trình đọc mã vạch/RF-ID
- Chuyển giao tương thích 200 mm và 300 mm hoạt động
- foup cho loại gắn trên stocker
- ionizer
- N2/XCDA Purge
Đối với các tài liệu yêu cầu và yêu cầu về các trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh của chúng tôi, nhấp vào
trực tiếp bóng