trực tiếp bóng đá việt nam

Sản trực tiếp bóng đá việt namtrực tiếp bóng đá hôm nay sản phẩm - Rorze

Hệ trực tiếp bóng đá việt nam xử lý wafer:efem/người sắp xếp

Ace EFEM

hình ảnh

Tính năng sản trực tiếp bóng đá việt nam

Hệ trực tiếp bóng đá việt nam chuyển tốc độ cao được thực hiện bằng cách gắn loại robot sạch loại mới và trục theo dõi tuyến tính tốc độ cao. Kết nối với OHT và AGV có sẵn.

  • trực tiếp bóng đá việt nam lượng cao hơn có thể được đính kèm bằng cách gắn hai căn chỉnh.
  • Tương ứng với loại kẹp chân không và loại kẹp cạnh (tùy chọn)
  • Sử dụng tương thích các tác trực tiếp bóng đá việt nam 200mm và 300mm (tùy chọn)

Thông số kỹ thuật chính của sản trực tiếp bóng đá việt nam

loại
RSC131
Số cổng
2Ports
chuyển đối tượng
300mm wafer: dia. 300 ± 0,2mm, độ dày: 775μm
Carrier
5204_5267
Điện áp
một pha 200V AC ± 10%, 50/60Hz ± 5%
Tiêu thụ hiện tại
4KVA (20A/200V AC) Bao gồm FFU
VACUUM (áp suất nguồn)
-80kpa đến -90kpa
VACUUM (tốc độ dòng chảy)
40L/phút
áp suất dương (áp suất nguồn)
0,6MPa đến 0,7MPa
Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
20L/phút
Đầu ra liên hệ EMO
2Systems (tiếp xúc khô)
khóa liên động
Đầu vào: 8 điểm/đầu ra: 8 điểm (I/O cách nhiệt)
loại
RSC141
Số cổng
3ports
Chuyển đối tượng
300mm wafer: dia. 300 ± 0,2mm, độ dày: 775μm
Carrier
5979_6042
Điện áp
một pha 200V AC ± 10%, 50/60Hz ± 5%
Tiêu thụ hiện tại
4KVA (20A/200V AC) bao gồm FFU
Nút không (áp suất nguồn)
-80kpa đến -90kpa
VACUUM (tốc độ dòng chảy)
50L/phút
Áp suất dương (áp suất nguồn)
0,6MPa đến 0,7MPa
Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
30L/phút
Đầu ra liên hệ EMO
2Systems (tiếp xúc khô)
khóa liên động
Đầu vào: 8 điểm/đầu ra: 8 điểm (I/O cách điện)

Kích thước sản trực tiếp bóng đá việt nam (RSC141)

  • hình ảnh

Tùy chọn

  • Hệ trực tiếp bóng đá việt nam giảng dạy tự động
  • ionizer
  • Bộ lọc hóa học
  • Bộ đệm bên trong Wafer
  • Trình đọc mã vạch/RF-ID
  • E84
  • Cổng tải với Purge N2/XCDA
  • Mặt dây chuyền giảng dạy

Đối với các tài liệu yêu cầu và yêu cầu về các sản trực tiếp bóng đá việt nam của chúng tôi, nhấp vào
trực tiếp bóng

trang đầu trang