Sản trực tiếp bóng đá việt namtrực tiếp bóng đá hôm nay sản phẩm - Rorze
Hệ trực tiếp bóng đá việt nam xử lý wafer:efem/người sắp xếp
Ace EFEM

Tính năng sản trực tiếp bóng đá việt nam
Hệ trực tiếp bóng đá việt nam chuyển tốc độ cao được thực hiện bằng cách gắn loại robot sạch loại mới và trục theo dõi tuyến tính tốc độ cao. Kết nối với OHT và AGV có sẵn.
- trực tiếp bóng đá việt nam lượng cao hơn có thể được đính kèm bằng cách gắn hai căn chỉnh.
- Tương ứng với loại kẹp chân không và loại kẹp cạnh (tùy chọn)
- Sử dụng tương thích các tác trực tiếp bóng đá việt nam 200mm và 300mm (tùy chọn)
Thông số kỹ thuật chính của sản trực tiếp bóng đá việt nam
- loại
- RSC131
- Số cổng
- 2Ports
- chuyển đối tượng
- 300mm wafer: dia. 300 ± 0,2mm, độ dày: 775μm
- Carrier
- 5204_5267
- Điện áp
- một pha 200V AC ± 10%, 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- 4KVA (20A/200V AC) Bao gồm FFU
- VACUUM (áp suất nguồn)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 40L/phút
- áp suất dương (áp suất nguồn)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 20L/phút
- Đầu ra liên hệ EMO
- 2Systems (tiếp xúc khô)
- khóa liên động
- Đầu vào: 8 điểm/đầu ra: 8 điểm (I/O cách nhiệt)
- loại
- RSC141
- Số cổng
- 3ports
- Chuyển đối tượng
- 300mm wafer: dia. 300 ± 0,2mm, độ dày: 775μm
- Carrier
- 5979_6042
- Điện áp
- một pha 200V AC ± 10%, 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- 4KVA (20A/200V AC) bao gồm FFU
- Nút không (áp suất nguồn)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 50L/phút
- Áp suất dương (áp suất nguồn)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 30L/phút
- Đầu ra liên hệ EMO
- 2Systems (tiếp xúc khô)
- khóa liên động
- Đầu vào: 8 điểm/đầu ra: 8 điểm (I/O cách điện)
Kích thước sản trực tiếp bóng đá việt nam (RSC141)
Tùy chọn
- Hệ trực tiếp bóng đá việt nam giảng dạy tự động
- ionizer
- Bộ lọc hóa học
- Bộ đệm bên trong Wafer
- Trình đọc mã vạch/RF-ID
- E84
- Cổng tải với Purge N2/XCDA
- Mặt dây chuyền giảng dạy
Đối với các tài liệu yêu cầu và yêu cầu về các sản trực tiếp bóng đá việt nam của chúng tôi, nhấp vào
trực tiếp bóng