trực tiếp bóng đá ngoai hang anh

Tính năng trực tiếp bóng đá ngoai hang anh

Nền tảng PLVS/chân trực tiếp bóng đá ngoai hang anh là một hệ thống xử lý sạch có độ lặp lại định vị cao và hiệu suất phân vùng chân trực tiếp bóng đá ngoai hang anh đáng tin cậy bằng cách sử dụng các đơn vị khác nhau của phần ổ đĩa DDM (động cơ truyền động trực tiếp), là một tính năng chung của robot chân trực tiếp bóng đá ngoai hang anh và máy hút bụi
Hệ thống xử lý chân trực tiếp bóng đá ngoai hang anh hiệu suất đơn giản và hiệu suất cao được thực hiện bằng cách kết hợp các cấu hình hệ thống để đáp ứng nhu cầu của khách hàng để áp dụng cho các ứng dụng bán dẫn khác nhau như in thạch bản E-team, PVC, CVD, ETCH, MR Head Depations, MEMS, và kiểm tra & MEAL

• Cấu hình hệ thống phù hợp và dấu trực tiếp bóng đá ngoai hang anh nhỏ nhất
• Hoạt động chuyển giao sạch
• Máy hút bụi siêu cao
• Thông lượng cao

Thông số kỹ thuật chính của trực tiếp bóng đá ngoai hang anh

Load Lock

Loại bộ đệm đơn, đôi và bộ đệm

đơn vị đơn

Robot chân trực tiếp bóng đá ngoai hang anh DDM, bộ điều chỉnh chân trực tiếp bóng đá ngoai hang anh và thang máy chân trực tiếp bóng đá ngoai hang anh

Kích thước công việc được xử lý

Công trình 450mm, Công trình 300mm, Công trình 200mm, Công trình 150mm và Chất nền vuông

quá trình kết nối

Hiệu suất chân trực tiếp bóng đá ngoai hang anh

1E-6PA hoặc ít hơn

bơm chân trực tiếp bóng đá ngoai hang anh

bơm khô và bơm turbo

Điều trị bề mặt

PM Xử lý và các phương pháp điều trị khác nhau

Các trực tiếp bóng đá ngoai hang anh có liên quan khác

Turntable RI150 Series

Kích thước công việc được xử lý

Công trình 300mm, Công trình 200mm, Công trình 150mm và Chất nền vuông

Nút hút Ultrahigh

Máy hút bụi siêu cao bằng cấu trúc phân vùng chân trực tiếp bóng đá ngoai hang anh

Tốc độ chuyển động

3SEC/360DEG

Độ phân giải

0,000343 deg/xung

công suất tải

1kg tối đa

độ lặp lại

± 0,02DEG Giá trị tham chiếu cho định hướng cược 300mm bằng máy ảnh

Thang máy Re161 Series

　

Máy hút bụi siêu cao

Máy hút bụi siêu cao bằng cấu trúc Bellows

Động tác chuyển động

70mm hoặc 300mm

công suất tải

50kg

Độ lặp lại

± 0,05mm

Xử lý RM (Công nghệ xử lý bề mặt)

Điều trị bề mặt

Diện tích bề mặt được giảm thiểu bằng cách phẳng bề mặt trực tiếp bóng đá ngoai hang anh đồng đều ở mức độ nano bằng cách sử dụng quá trình khắc Hiệu suất OUTGAS rất thấp được nhận ra bằng cách hạ thấp Outgas và giảm thiểu sự hấp phụ khí bằng cách tạo ra quá trình tạo ra màng thụ động oxit dày đặc

tính năng

màng thụ động oxit dày đặc (độ dày từ 10nm trở xuống) được tạo ra trên bề mặt sau khi quá trình xử lý RM RM được thực hiện và hiệu ứng rào cản để giảm các outgas có trong vật liệu cơ sở được dự kiến Nơi cư trú được loại bỏ bằng cách thực hiện quy trình làm sạch sau khi xử lý RM RM để giảm thiểu các tạp chất
Liên quan đến các thành phần của các outgas trong chân trực tiếp bóng đá ngoai hang anh siêu cao và được tạo ra bằng cách nướng, hầu hết các thành phần bị loại bỏ là m/z = 18 (H2O: nước), do đó, mức độ làm sạch cao được thực hiện mà trực tiếp bóng đá ngoai hang anh sợ sự ô nhiễm tạp chất

Ứng dụng

7767_8086

Đối với các tài liệu yêu cầu và yêu cầu về các trực tiếp bóng đá ngoai hang anh của chúng tôi, nhấp vào
trực tiếp bóng