trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh

Tóm tắt

Chứa các cạnh của mặt kẻ ô vào phạm vi tối thiểu và vận chuyển mà không có các hạt tuân thủ. Tương thích với mặt nạ EUV thế hệ tiếp theo.

• Được trang bị dụng cụ mở trong nhà, nó hỗ trợ một loạt các nhà mạng
• 5436_5471
• Điều khiển luồng không khí dựa trên phân tích luồng không khí ngăn chặn sự kết dính của hạt

trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh số kỹ thuật sản phẩm chính

Số cổng

3

mục tiêu sẽ được phân phối

Photomask, mặt nạ EUV 6, x x 6 (□ 152 ± 0,4mm, độ dày 6,35mm ± 0,1mm)

Carrier

RSP-200, RSP-150, EUV Pod

Điện áp cung cấp

AC200V ± 10% 50/60Hz ± 5%

Tiêu thụ hiện tại

Bao gồm 4KVA (20A/200VAC) FFU

VACUUM (Áp lực ban đầu)

-

VACUUM (tốc độ dòng chảy)

-

Áp lực dương (áp lực ban đầu)

0,6MPa đến 0,7MPa

Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)

10L/phút

N2 khí (áp suất ban đầu)

-

N2 khí (tốc độ dòng chảy)

-

khóa liên động

-

Bản vẽ phác thảo sản phẩm (trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh số kỹ thuật tiêu chuẩn)

• 

Tùy chọn

• Turntable Turntable
• Biến tần hiện vật
• Căn chỉnh không tiếp xúc ủ
• Camera đọc mã QR của Net

Đối với các yêu cầu trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh và yêu cầu sản phẩm
ở đây