Sản phẩmThông trực tiếp bóng
Hệ thống băng tải wafer:efem/người sắp xếp
Ace Sorter
Tóm tắt
Sắp xếp bóng đá trực tiếp hôm nay lượng cao đã đạt được bằng cách áp dụng một robot sạch được trang bị servo mới, bộ điều chỉnh và trục lái tuyến tính. Cấu trúc cho phép các cổng tải được gắn ở cả hai mặt trước và phía sau của khung, cho phép bổ sung sau và các đơn vị khác nhau. Kết nối trực tiếp với OHTS và Stockers là có thể.
- Căn chỉnh nhanh với hai căn chỉnh
- Kẹp cạnh ngăn chặn việc chuyển hạt vào mặt sau của wafer
- Có thể đọc ID ở cả hai mặt của wafer
- OHT, tương thích với Cài đặt Stocker
- Có thể thực hiện các hướng dẫn chuyển giao trên bảng cảm ứng, cung cấp khả năng hoạt động dễ hiểu
bóng đá trực tiếp hôm nay số kỹ thuật sản phẩm chính
- model
- RSC132
- Số cổng
- 2 cổng
- mục tiêu sẽ được giao
- Đường kính wafer 300mm: φ300 ± 0,2mm độ dày: 775μm
- Carrier
- 300mm foup 25 giai đoạn (semi e47.1) 300mm FOSB 25 giai đoạn (bán M31)
- Điện áp cung cấp
- AC200V ± 10% 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- Bao gồm 4KVA (20A/200VAC) FFU
- VACUUM (Áp lực ban đầu)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 30L/phút
- Áp lực dương (áp lực ban đầu)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 20L/phút
- model
- RSC142
- Số cổng
- 3 cổng
- mục tiêu sẽ được phân phối
- Đường kính wafer 300mm: φ300 ± 0,2mm độ dày: 775μm
- Carrier
- 300mm foup 25 giai đoạn (semi e47.1) 300mm FOSB 25 giai đoạn (bán M31)
- Điện áp cung cấp
- AC200V ± 10% 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- 4KVA (20A/200VAC) bao gồm FFU
- VACUUM (Áp lực ban đầu)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 40L/phút
- Áp suất dương (áp lực ban đầu)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp lực tích cực (Flow)
- 30L/phút
- model
- RSC152
- Số cổng
- 4 cổng
- mục tiêu sẽ được giao
- Đường kính wafer 300mm: φ300 ± 0,2mm độ dày: 775μm
- Carrier
- 300mm foup 25 giai đoạn (semi e47.1) 300mm FOSB 25 giai đoạn (bán M31)
- Điện áp cung cấp
- AC200V một pha ± 10% 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- Bao gồm 4KVA (20A/200VAC) FFU
- VACUUM (Áp lực ban đầu)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 50L/phút
- Áp lực dương (áp lực ban đầu)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 40L/phút
Bản vẽ phác thảo sản phẩm (bóng đá trực tiếp hôm nay số kỹ thuật tiêu chuẩn)
Tùy chọn
- 7312_7338
- Tương thích với các tấm wafer thủy tinh và tấm dán nhiều lớp
- Bộ lọc hóa học khác nhau
- Mã đầu đọc mã vạch/RF-ID
- có thể được chuyển cho 200mm/300mm
- FOUP Stocker tích hợp
- ionizer
- Gói N2/XCDA
Để hỏi về bóng đá trực tiếp hôm nay hoặc sản phẩm, vui lòng liên hệ với chúng tôi
ở đây