Sản phẩmThông trực tiếp bóng đá việt
Hệ thống băng tải wafer:Stocker
N2-BWS
Tóm tắt
Bộ phân loại wafer có diện tích lưu trữ wafer (pod có chức năng thanh lọc) và kiểm tra và xử lý các tấm wafer ở độ ẩm thấp và vỏ oxy thấp để giảm thiểu thay đổi trong màng xử lý wafer.
- Tổng số 800/1600/3200 có thể được lưu trữ
- Tốc độ dòng nitơ thấp cung cấp oxy thấp, độ ẩm thấp và hiệu suất sạch cao
- Tự động dạy có thể
- Cơ chế màn trập chỉ có thể mở và đóng mặt trước của wafer giảm thiểu mở khi truy cập
trực tiếp bóng đá ngoai hang anh số kỹ thuật sản phẩm chính
- model
- BWS800 RI76172
- mục tiêu sẽ được giao
- 300mm đường kính wafer: φ300 ± 0,2mm độ dày: 775μm ± 20μm
- Carrier
- 300mm foup 25 giai đoạn (semi e47.1) 300mm FOSB 25 giai đoạn (bán M31)
- Điện áp cung cấp
- 3 giai đoạn AC208V ± 10% 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- 10kva (30a/200Vac) bao gồm FFU
- VACUUM (Áp lực ban đầu)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 60L/phút
- Áp lực dương (áp lực ban đầu)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp lực tích cực (Flow)
- 30L/phút
- N2 (áp lực ban đầu)
- 0,4MPa đến 0,5MPa
- N2 (tốc độ dòng chảy)
- 300L/phút
- model
- BWS1600 RI76192
- mục tiêu sẽ được phân phối
- Đường kính wafer 300mm: φ300 ± 0,2mm độ dày: 775μm ± 20μm
- Carrier
- 300mm foup 25 giai đoạn (semi e47.1) 300mm FOSB 25 giai đoạn (bán M31)
- Điện áp cung cấp
- 3 giai đoạn AC208V ± 10% 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- 10kva (30a/200Vac) bao gồm FFU
- VACUUM (Áp lực ban đầu)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 60L/phút
- Áp lực dương (áp lực ban đầu)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 30L/phút
- N2 (áp lực ban đầu)
- 0,4MPa đến 0,5MPa
- N2 (tốc độ dòng chảy)
- 600L/phút
- model
- BWS3200 RSC2E2
- mục tiêu sẽ được phân phối
- 300mm Đường kính wafer: φ300 ± 0,2mm độ dày: 775μm ± 20μm
- Carrier
- 300mm foup 25 giai đoạn (semi e47.1) 300mm FOSB 25 giai đoạn (bán M31)
- Điện áp cung cấp
- 3 giai đoạn AC208V ± 10% 50/60Hz ± 5%
- Tiêu thụ hiện tại
- Bao gồm 25kva (75A/200VAC) FFU
- VACUUM (Áp lực ban đầu)
- -80kpa đến -90kpa
- VACUUM (tốc độ dòng chảy)
- 60L/phút
- Áp lực dương (áp lực ban đầu)
- 0,6MPa đến 0,7MPa
- Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)
- 40L/phút
- N2 (áp lực ban đầu)
- 0,4MPa đến 0,5MPa
- N2 (tốc độ dòng chảy)
- 1200L/phút
Tùy chọn
- Bộ lọc hóa học
- mã vạch điện/rf-id
Để biết thông trực tiếp bóng đá ngoai hang anh về thông trực tiếp bóng đá ngoai hang anh hoặc sản phẩm, vui lòng liên hệ với chúng tôi
ở đây