xem trực tiếp bóng đá

Tóm tắt

PLVS/Nền tảng chân không là một hệ thống băng tải sạch có khả năng tái tạo vị trí cao và khả năng phân vùng chân không đáng xem trực tiếp bóng đá cậy bằng cách cài đặt các đơn vị khác nhau của phần truyền động DDM (động cơ truyền động trực tiếp), là một tính năng phổ biến của robot chân không và bộ điều chỉnh chân không.
Ngoài ra, bằng cách kết hợp các cấu hình thiết bị phù hợp với nhu cầu của khách hàng, chúng tôi đã đạt được một hệ thống băng tải chân không đơn giản, hiệu suất cao, thích ứng với nhiều ứng dụng bán dẫn khác nhau, bao gồm in thạch học E-chùm,

• Cấu hình hệ thống tối ưu/dấu chân tối thiểu
• Vận chuyển sạch
• tương thích chân không siêu cao
• xem trực tiếp bóng đá lượng cao

xem trực tiếp bóng đá số kỹ thuật sản phẩm chính

loadLock

Single, Double, Buffer Loại

Đơn vị đơn

Robot chân không DDM, bộ phận chân không, thang máy chân không, v.v.

Kích thước công việc tương thích

450mm, 300mm, 200mm, 150mm, bảng vuông, v.v.

quá trình kết nối

1 đến 8 quy trình, các loại khác nhau

Hiệu suất chân không

1E-6PA hoặc ít hơn

bơm chân không

bơm khô, bơm turbo, v.v.

Điều trị bề mặt

Xử lý RM, khác nhau tương thích khác

Các sản phẩm liên quan khác

Turntable RI150 Series

Kích thước công việc tương thích

300mm, 200mm, 150mm, bảng vuông, v.v.

tương thích chân không siêu cao

Hỗ trợ chân không siêu cao do cấu trúc phân vùng chân không

Tốc độ vận hành

3 giây/360deg

Độ phân giải

0,000343DEG/PULSE

Công suất thanh toán

tối đa 1kg

Lặp lại độ chính xác

± 0,02Deg *Giá trị tham chiếu để định vị notch wafer 300mm bằng máy ảnh

Thang máy Re161 Series

tương thích chân không siêu cao

Hỗ trợ chân không siêu cao với cấu trúc ống thổi

Di chuyển đột quỵ

70mm hoặc 300mm

Trọng lượng công suất

50kg

Lặp lại độ chính xác

± 0,05mm

Điều trị RM (Công nghệ xử lý bề mặt)

<Điều trị bề mặt

Diện tích bề mặt thay thế được giảm thiểu bằng cách làm phẳng các cực độ cấp độ nano xem trực tiếp bóng đá qua một quá trình khắc.
Ngoài ra, quá trình tạo ra màng oxit thụ động dày đặc làm giảm giải phóng khí và giảm thiểu sự hấp phụ khí, đạt được hiệu suất vượt trội cực kỳ thấp.

Sau khi ứng dụng "xử lý RM", màng oxit thụ động dày đặc với độ dày dưới 10nm được hình thành và hiệu ứng rào cản có thể được dự kiến ​​sẽ triệt tiêu sự giải phóng khí có trong vật liệu cơ sở.
Ngoài ra, bằng cách thực hiện quá trình làm sạch sau "điều trị RM", dư lượng được loại bỏ và các tạp chất được giảm thiểu.
Đối với các thành phần vượt trội gây ra bởi các khu vực chân không cực cao và nướng, hầu hết các thành phần được giải thoát là M/Z = 18 (H2O: Water), do đó không cần phải lo lắng về sự ô nhiễm do tạp chất và độ sạch cao.

Nó phù hợp với các buồng chân không cần có chân không cực cao và hiệu suất ô nhiễm thấp, thiết bị sản xuất bán dẫn và thiết bị sản xuất bán dẫn nhằm mục đích cải thiện xem trực tiếp bóng đá lượng bằng cách giảm thời gian chân không do hiệu suất outgas cực thấp.

Đối với yêu cầu xem trực tiếp bóng đá và yêu cầu sản phẩm
ở đây