Sản phẩmThông trực tiếp bóng đá việt
Hệ thống băng tải wafer:Robot vận chuyển chân không
RR491L300

Tóm tắt
- độ chính xác cao
- tương thích chân không siêu cao
- trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh lượng cao
- Tùy chọn AWC tương thích (hiệu chỉnh vị trí wafer)
trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh số kỹ thuật sản phẩm chính
- Mục đích được vận chuyển
- ~ 300mm wafer, 6 "Mặt nạ, vv
- Khoảng cách vận chuyển trung tâm làm việc
- 778mm (cho 300mm wafer)
- Z-trục đột quỵ
- 70mm/140mm
- Phạm vi chuyển đổi
- Vòng quay vô hạn
- Đường kính xoay
- 810mm
- Độ chính xác vận chuyển (x, y)
- ± 0,1mm
- Mass
- 65kg
- Kháng chân không
- 10E-6 PA
- anh ấy rò rỉ tỷ lệ
- 5x10e-9 pam3/sec he (chân không cơ sở 5x10e-4 pa)
- Nhiệt độ hoạt động
- dưới 80
- Vật liệu được sử dụng trong chân không
- 6033_6095
- trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh số kỹ thuật của động cơ
- Động cơ truyền động trực tiếp cho chân không (trục z: động cơ servo)
- trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh số kỹ thuật của bộ mã hóa
- abs
- Tiện ích
- DC48V (ổ đĩa động cơ), DC24V (giao tiếp)
- Đặc tả giao tiếp
- TCP/IP
- Tùy chọn
- Mặt dây chuyền giảng dạy, Đơn vị cung cấp điện (đầu vào AC200V)
Bản vẽ phác thảo sản phẩm (trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh số kỹ thuật tiêu chuẩn)
Để biết trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh về trực tiếp bóng đá ngoại hạng anh hoặc sản phẩm, vui lòng liên hệ với chúng tôi
ở đây