Sản phẩmThông trực tiếp bóng
Hệ thống băng tải wafer:Robot vận chuyển chân không
RR481L200
Tóm tắt
R481 Boomerang Arm Robot Robot (Double Arm) sử dụng động cơ truyền động trực tiếp (DDM) cho bộ phận ổ đĩa, đạt được độ tái tạo vị trí cao và hiệu suất phân vùng chân không đáng tin cậy. Ngoài ra, cơ chế ARM được điều khiển bởi một vành đai thép cho phép áp dụng một tác nhân cuối cùng mặc dù khu vực lắc lư nhỏ của nó.
- Vùng quay nhỏ
- Tương thích với ngón tay dài, tầm xa
- Hỗ trợ kích thước mở cổng hẹp (15mm)
- độ chính xác cao
- tương thích chân không siêu cao
- trực tiếp bóng đá việt nam lượng cao
- Tùy chọn AWC tương thích (hiệu chỉnh vị trí wafer)
trực tiếp bóng đá việt nam số kỹ thuật sản phẩm chính
- Bài viết sẽ được vận chuyển
- ~ 300mm wafer
- Teleport Mass
- 3.0kg/10nm *Phần gắn cổ tay (bao gồm EE)
- Khoảng cách vận chuyển trung tâm làm việc
- 715mm (cho 300mm wafer)
- Z-trục đột quỵ
- 70mm/140mm
- Phạm vi chuyển đổi
- Vòng quay vô hạn
- Đường kính xoay
- 530mm
- Độ chính xác vận chuyển (x, y)
- ± 0,1mm
- Mass
- 100kg
- Kháng chân không
- 10e-6 PA
- anh ta rò rỉ tỷ lệ
- 5x10e-9 pa.m3/sec he (chân không cơ sở 5x10e-4 pa)
- Nhiệt độ hoạt động
- dưới 80 ℃
- Vật liệu được sử dụng trong chân không
- 6180_6242
- Đặc tả động cơ
- Động cơ truyền động trực tiếp cho chân không (trục z: động cơ servo)
- trực tiếp bóng đá việt nam số kỹ thuật của bộ mã hóa
- abs
- Tiện ích
- DC48V (ổ đĩa động cơ), DC24V (giao tiếp)
- Đặc tả giao tiếp
- TCP/IP
- Tùy chọn
- Mặt dây chuyền giảng dạy, Đơn vị cung cấp điện (đầu vào AC200V)
Bản vẽ phác thảo sản phẩm (trực tiếp bóng đá việt nam số kỹ thuật tiêu chuẩn)
Đối với các yêu cầu trực tiếp bóng đá việt nam và yêu cầu sản phẩm
ở đây